日本UNION非接觸式測量工具顯微鏡
HISOMET系列工具顯微鏡為一專業(yè)X、Y、Z軸座標測量顯微鏡，X、Y工作臺行程由50×50mm到大行程500×500mm，放大倍數由5×至1000×。為求提高工件在Z軸深度/高度測量時的精度，Z軸對焦采用一磚利光學“裂像指示器”，結合精密的Z軸“Cross Roller Bearing”導軌，可測范圍25 mm，精度高達1μm，配合特殊附件，測量分解度更可達0.5μm或0.1μm。
非接觸式測量顯微鏡
對焦清楚后如下圖：
應用實例：
技術規(guī)格：
|
型 號
|
DH II
|
|
工作臺行程mm
|
50×50
|
100×100
|
100×200
|
150×150
|
150×300
|
300×300
|
500×500
|
|
Z軸測量范圍
|
25mm
|
25mm
|
25mm
|
25mm
|
25mm
|
25mm
|
25mm
|
|
X、Y、Z軸數顯分解度
|
0.001mm
|
|
Z軸讀數裝置
|
內置數顯表／外置數據處理系統(tǒng)
|
|
反射照明系統(tǒng)
|
內置LED／外置冷光源
|
|
標準目鏡
|
NWF10X
|
|
標準物鏡（W.D.12mm）
|
PLM10X
|
|
讀數系統(tǒng)
|
簡易座標讀數器
|
|
多功能數據處理器
|
|
測量軟件電腦系統(tǒng)
|
|
選購物鏡
|
PLM3X(W.D.8.5mm), PLM5X(W.D.19mm),
PLLWDM20X (W.D.11.2mm), PLLWDM40X(W.D.10mm),
SPLM50X (W.D.1.5mm), PLLWDM100X (W.D.5.0mm),
SPLM100X(W.D.1.0mm)
|